[논문-01/17/2024] 이봉재 교수 연구실과 CETPM 소속 이정철 교수 연구실이 공동으로 수행한 식각 및 증착 공정을 위한 강자성 새도우 마스크에 관한 연구가 Journal of Microelectromechanical Systems에 게재 승인되었습니다. 이 연구는 포토리소그래피 대체를 위해 정렬 가능한 강자성 (Ni) 쉐도우 마스크가 개발하였으며, 이를 통해 습식 공정이 불가능한 샘플 표면에 쉐도우 마스크와 선폭이 일치하며 높은 수직성을 가진 건식 식각 및 증착 공정을 수행할수 있습니다. 공동 1저자로서 연구를 주도한 최민우 박사과정 축하합니다.
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