[논문 – 05/28/2022] 이봉재 교수 연구실과 CETPM 소속 이정철 교수 연구실이 공동으로 진행한 적외선 간섭 현미경을 이용한 Silicon-on-Nothing 내부 구조 이미징에 관한 연구 결과가 Advanced Engineering Materials에 게재 승인 되었습니다. 이 연구에서는 적외선 간섭 현미경을 직접 제작하고 샘플 마운트에 마이크로 스캐너를 사용하여 Silicon-on-Nothing의 내부 구조를 스캐닝 할 수 있도록 구성하였습니다. 이 연구에서 개발한 기술은 Silicon-on-Nothing 혹은 Germanium-on-Nothing 등에서 내부 구조를 비파괴로 검사할 수 있어서 향후 공정 개발에 매우 유용하게 쓰일 것으로 기대합니다. 제1 저자로서 연구를 주도한 정문경 박사 축하합니다.
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