[논문 – 04/19/2022] 이봉재 교수 연구실과 CETPM 소속 이정철 교수 연구실이 공동으로 진행한 머신러닝 기법을 이용한 Germanium-on-Nothing 구조 비파괴 검사 기술에 관한 연구 결과가 Scientific Reports에 게재 승인 되었습니다. 이 연구에서는 AFM으로 얻은 Germanium-on-Nothing 구조의 표면 이미지와 SEM으로 얻은 동일 시편의 내부 이미지 사이의 상관관계를 principal component analysis를 통해 얻어내고, 이 모델을 새로운 시편에 성공적으로 적용하였습니다.
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